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| SW-08 |
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[편면고속래핑머신]
취약성 재료기판(Sapphire, SiC,GaN등)을 간단히 단시간에 고정도로 평면으로 연마 |
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■ 특징
1. 취약성 재료 기판에 탁월한 연마작업
딱딱하고 깨지기 쉬운 취약성재료 기판을 보다 얇게 평탄도를 유지하며 연마
2. 상축 조정기구
기판을 흡착하는 척을 장착한 주축이 정반과 평행이 되도록 조정하는 기구
3. 고속 회전기구
정반이 최고300rpm 회전하는 고속연마를 실현
4. 페이싱 기구
페이싱 기구를 표준기구로 장착 정반을 빠르게 수정
5. 냉각장치
래핑 정반하부를 냉각수로 효율 좋게 냉각 |
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