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| 전자동 가압오븐 |
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[전자동 가압오븐장치]
반도체 및 LED제조 프로세스의 봉지 공정에서 발생하는 기포 제거장치(3/4/6/8/12inch 대응)
기포제거에 매우 효과적인 기능성 장치 |
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1.고속의 온도 상승 및 하강이 빠름
- 열풍방식으로 고속의 온도상승 및 하강이 빠르게 전개
2.다양한 재료에 대응
- 대구경 Wafer 및 Flexible기판/부정형 기판에도 대응
3.조작 간단
- 터치판넬 방식으로 조작이 간단
4.샘플의 열처리 가능
- 질소 또는 공기에 의한 가압된 상태에서 샘플의 열처리 가능
5.시료에 대한 균일한 가압으로 Damage가 경감
- 가압은 고압질소와 공기를 이용하기 때문에 균일한 가압작업 |
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