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| 초임계 세정/건조장치 |
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[소형 초임계 세정/건조장치]
초임계를 응용한 프로세스로 극미세 패턴형성에 유효한 초임계 건조장치 |
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1.고압가스는 불필요
- 종래의 이산화탄소는 불필요하고, 상온 상압에서 불소계 용제를 사용(불연성)
2.간단한 조작
- 약액을 넣고, 개시버튼으로 동작
3.약액체의 성능을 극대화
- 불소계의 용제 특성을 응용한 유효적인 새로운 초임계 세정
4.실용적인 설계
- 연구개발에 최적인 Compact 설계
5.설치에 필요한 전기공사 불필요
- 100V 전원의 단자만 있으면 동작가능 |
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