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자동노광장치_외층용 순차노광 (OLEX-PD60)
제품과 필름마스크의 얼라인 과정을 통하여, 정교한 회로패턴을 구현하는 장비로서, 상류기/반전기/하류기 구성된 외층용 자동 노광기 입니다.
우수한 생산성과 높은 광학 성능등으로 호평 받고 있습니다.
 
 
 
 
- Panel : Max.size 536x625mm
- Exposure : 양면 순차노광
- Alignment : Film mask& Panel mark
- Light sorce : 5kw Arc UV Lamp x 1EA
- Resolution : L/S _ 35um/35um
- Trance Accuracy : ±1.0mm
- Lay-out : 4450(L)x1610(W)x2500(H)