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| Direct Image Exposure System (UDI-PD60) |
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본 장비는 MASKLESS System으로서 고다층/고해상도 제품작업이 가능하며,
UV LED광원으로 감광성 DFR에 패턴을 형성하는 장차 입니다. |
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- Direct Image System : Maskless System
- Panel Size : 535x625mm
- Thickness : 0.04~2T
- Light Source : UV LED
- Exposure Body : Basic 2 Head System
- Auto Focus System
- Resolution : 20 μｍ/20 μｍ
- Expo. Method : Scan Exposure |
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